组成氢化非晶硅薄膜晶体管的薄膜材料分为功能薄膜和导电薄膜两大类。功能薄膜主要包括绝缘作用的氢化氮化硅（SiN _x ：H，简写SiN _x ）薄膜和氧化硅（SiO _x ）薄膜、半导体作用的氢化非晶硅（a-Si：H）薄膜和欧姆接触作用的磷重掺杂氢化非晶硅（n ⁺ a-Si：H）薄膜。导电薄膜主要是指扫描电极和信号电极的铝或铜金属薄膜、像素电极的透明导电薄膜（氧化铟锡ITO薄膜）。